净化FFU高效过滤器可模块化连接使用,使得FFU风机过滤器机组广应用于洁净室、洁净工作台、FFU风机过滤器机组、洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。大家看到一连串的英文字母也许有些烦恼，其实FFU air filter就是我们所说的FFU空气过滤器，那么接下来我们主要给大家介绍关于FFU空气过滤器的安装要求以及所需要的工具，希望通过我们的介绍，可以给大家带来一定的帮助。

*种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为*主要的洁净设计方案。

FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

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